山東大學新材料實驗室不銹鋼特種氣體配氣柜設(shè)備的現(xiàn)狀
原不銹鋼自動配氣系統(tǒng)的材質(zhì)為316L，配合減壓閥裝置，流量計和旁路管道分支，管線錯綜復雜，標識不明顯，且氣體流量計的精度與現(xiàn)實不符，使用起來非常不方便。
山東大學新材料實驗室不銹鋼特種氣體柜的設(shè)計要求
如圖所示，配氣柜的功能要達到將H2,CH4,N2,CO2四種氣體的任意兩種進行充分混合后輸出混合氣，可達到自動氣體配氣設(shè)備的使用要求，對于特種氣體配氣設(shè)備的定制，采用316L不銹鋼氣體管道和減壓控制系統(tǒng)，設(shè)備研發(fā)定制需與甲方實際儀器設(shè)備的使用要求，根據(jù)配置比例和流量要求，出具設(shè)備清單價格進行比對。
項目為山東大學新材料實驗室氣體配氣裝置配氣箱的設(shè)計與安裝，在設(shè)計智能氣體混氣配氣設(shè)備之前，混合氣體配氣柜需要以下幾個幾項來做溝通，達到多通量動態(tài)標準氣體配氣箱的使用要求和標準。
| 序號 | 項目 | 參數(shù) |
|---|---|---|
| 1 | 管道氣體種類 | 此項目有H2,CH4,N2,CO2四種氣體 |
| 2 | 壓力表 | 量程（MPa）根據(jù)儀器的使用壓力來定 |
| 3 | 質(zhì)量流量計 | 量程SCCM 數(shù)顯 可設(shè)置，根據(jù)客戶使用要求 |
| 4 | 管徑 | 口徑1/4或3/8 |
| 5 | 管道材質(zhì) | 316L,BA級或EP級，EP級半導體行業(yè)多選擇 |
| 6 | 各種閥門 | 依照管徑及圖示選擇 |
| 7 | 氣體柜大小 | 配氣柜的尺寸大小，分為落地式或桌面式，根據(jù)客戶現(xiàn)場情況定制定做均可 |
大學實驗室自動氣體配氣設(shè)備定制圖
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